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Titre :
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Les salles blanches et les dépôts de particules
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Auteurs :
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S. Fujii ;
G. Xie
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Type de document :
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article/chapitre/communication
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Année de publication :
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1991
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Format :
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571-577
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Langues:
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Japonais
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Catégories :
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CLIMATISATION
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Mots-clés:
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CONDITIONNEMENT D'AIR
;
AEROSOL
;
ELECTRONIQUE
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Résumé :
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Le dépôt de particules d'aérosol à la surface des produits est un problème important pour la fabrication des circuits intégrés. On décrit la mise au point d'un modèle permettant de prévoir les dépôts de particules dans les salles blanches unidirectionnelles.
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Source :
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SHASE, vol 65, n°9
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